真空扩散系统技术指标 ◆工作温度范围: (400—1285) ℃; ◆长期工作温度: (1000—1285)℃; ◆恒温区长度及精度: (900—1285)℃; 760mm/±0.5℃ (400—900)℃; 760mm/±1.0℃ ◆单点温度稳定性: (900—1285)℃; 760mm/±0.5℃/48h (400—900)℃; 760mm/±1.0℃/48h ◆升降温的控制曲线斜率: 最大升温速率:15℃/min 最大降温速率;5℃/min;(1285~900℃) ◆具有恒温区温度可编程自动修正,可自动进行测量恒温区温度分布的功能。 ◆气体 : 定制 ◆真空不锈钢法兰、炉门及真空管道: ◆炉门温度: ∠80℃; 并采取有防热辐射的措施。 ◆真空管道: 硬连接, 内壁电抛光, 无气孔;固定牢靠。 ◆无油真空机组: ◆涡轮分子泵: ◆干式泵(水冷却): 极限真空度优于0.9 Pa ◆系统工作真空度:优于2.0×10-4Pa ◆系统抽真空能力:真空腔抽到2.0×10-4Pa的时间≤40 min 扩散炉选型要点 ◆按结构可分为立式和卧式两种。 ◆推拉舟有斜滚.双杆.悬臂三种形式。 ◆工作台有简易操作台(无净化、净化);标准操作台(无净化、净化)。 ◆按管路的组成及连接形式可从以下两方面来区分: 1.按流量控制器区分:可分为浮子流量计和质量流量控制器。 2.按阀门及连接方式区分:可分为进口电磁阀卡套连接.进口气动阀卡套连接.进口气动阀VCR连接三种形式。 ◆按工艺类型区分:可分为干氧氧化.湿氧氧化(普通湿氧化和氢氧合成氧化). 磷扩散.硼扩散和退火(合金)等多种。 |