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北京维意真空三温区PECVD 等离子体增强化学气相沉积系统

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最小采购量：不限
主营产品：ALD原子层沉积镀膜设备和PECVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备
供应商：北京维意真空技术应用有限责任公司
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所在地：中国北京
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北京维意真空技术应用有限责任公司

身份验证：
注册资本：250万元
企业类型：
公司地区：中国北京
主营产品：ALD原子层沉积镀膜设备和PECVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备

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产品详情

品牌：维意真空
型号：WAYES-PECVD
类型：等离子体化学气相沉积装置

三温区PE-CVD技术参数<table align="center" style="width:443.85pt;"><tbody><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">名称</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">规格</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">产品名称</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">PECVE智能一体机</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">显示模式</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">7"真彩触摸屏液晶显示（LCD）</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">温度曲线</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">30段"时间—温度曲线"任意可设</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">预存曲线</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">可预存15条温度曲线</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">操作界面</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">图形界面提示,触摸屏输入</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">温度曲线</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">实时监控，动态显示“时间-温度曲线”</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">超温报警</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">有</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">断偶提示</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">有</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">测温元件</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">S型热电偶</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">升温速率：</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">0-30 ℃/min</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">工作电源：</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">AC380V /50HZ</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">整机功率：</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">12KW</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">最高温度</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">1400℃</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">长期工作温度</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">1350℃</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">控温方式：</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制， </td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">质量流量计：四路</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">型号采用D07-7及对应显示仪表</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">气体种类：</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">氢气：200sccm甲烷：100 sccm氮气：750 sccm氩气：300 sccm</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">射频电源</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">功率500w，频率：13.56MHz</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">真空计</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">测量范围0.01-100000Pa</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">真空泵</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">TRP-36</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">真空度</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">5Pa</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">手持式测温仪</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">S型热电偶 长度500mm</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">刚玉管</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">100*2000</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">石英管</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">100*2000</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">石英管</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">80*2000</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">软件功能</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">1：加热温区移动速度触摸屏可以调节。2：射频电源开启时间，可以设定，时间到后自动停止射频电源。3：自动切换气体功能，（不同温度通入不同气体，或者根据要求进行定做）。4：自动检测真空度，根据真空度的大小，自动启动射频电源。5：真空泵自动启动，根据真空度，系统自动判断是否需要启动真空泵。6：其他功能根据要求定做.</td></tr><tr><td width="189" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">包装模式</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">三合板木质包装箱</td></tr><tr><td width="189" valign="center" style="border:1.0000pt solid windowtext;">随机配件</td><td width="402" valign="top" style="border:1.0000pt solid windowtext;">石英舟3只;刚玉坩埚3只；炉钩一个;高温手套一套;随机工具;说明书1份;。</td></tr></tbody></table><img src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14643308017508.jpg" data-ke-src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14643308017508.jpg" alt=""> <img src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14643308031460.jpg" data-ke-src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14643308031460.jpg" alt=""> <img src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14643308078123.jpg" 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 北京维意真空技术应用有限责任公司，原名北京科立方真空技术应用有限公司，创立于2013年，位于中国·首都北京密云经济技术开发区，主体经营分为真空配件销售、真空设备定制、浅蓝纳米科技三个部分，是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的专业性的公司，公司拥有一支专业、优秀的产品技术工程师和维修技术工程师，具有丰富的行业经验，同时还与北京工业大学联合研发等离子体增强化学气相沉积系统，与北京交通大学联合研发原子层沉积系统，满足高校、研究所的教学、科研使用，同时减少相关进口设备的市场占有率，并力争创造外汇，打出中国创造的！ 
 我们的客户遍布北京各高校和研究院所、部分军工单位和电力试验所、各级的材料、物理、化学、纳米等研究领域的实验室，期待您就是我们的下一位客户、朋友！

您的满意微笑是我们一直努力追求的经营目标！
技术创新、业务专业、服务诚信是我们一直遵循的经营理念！

我们热诚欢迎国内外先进的仪器制造商及科学工作者与我们联系开展各层面的合作,打造成一流的真空系统产品、等离子体增强化学气相沉积系统和原子层沉积系统供应商。
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公司地址	北京市密云区西田各庄镇雁密路99号601室-819	统一社会信用代码	91110228069571936J
组织机构代码	06957193-6	注册资本	250万人民币
营业期限	45389-07-22至65387-03-25	经营状态	存续
公司类型	有限责任公司(自然人投资或控股)	成立日期	2013-06-03
法人代表	杨利佳	注册机构	北京市工商行政管理局密云分局
经营范围	技术推广；组织文化艺术交流活动（不含演出及棋牌娱乐）；销售电气机械、通用设备、专用设备、电子产品；委托加工；维修家用电器、仪器仪表。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）