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查看全部51件真空镀膜机产品 >> 团簇式PECVD 产品详情
  • 品牌:wayesvac
  • 型号:wayes-TCPECVD
以上是团簇式PECVD的详细介绍,包括团簇式PECVD的价格、型号、图片、厂家等信息!
该系列PECVD系统具有固态等离子源、分开式反应气体进气系统,动态衬底温控,全面控制真空系统,采用集中现场控制总线技术的“值守精灵”控制软件,以及友好用户操作界面来操作。适用于室温至1400℃条件下进行的SiO2、SiNx,、 SiONx ...
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