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维意真空多功能团簇式PECVD

价格：400000元/件更多产品优惠价>

最小采购量：不限
主营产品：ALD原子层沉积镀膜设备和PECVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备
供应商：北京维意真空技术应用有限责任公司
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所在地：中国北京
联系人：于磊

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北京维意真空技术应用有限责任公司

身份验证：
注册资本：250万元
企业类型：
公司地区：中国北京
主营产品：ALD原子层沉积镀膜设备和PECVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备

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产品分类

产品详情

品牌：wayesvac
型号：wayes-TCPECVD
原理类型：真空化学气相沉积镀膜机
应用领域：能源电池
极限真空度类型：中真空0.1~100Pa
极限真空度：0.1PaPa
镀膜室尺寸：80*850mmmm
工作真空度：20-500PaPa
升压率：5Pa/h
抽气时间：10min
反应室数量：3个反应室
中转室：可将产品转移到任意腔室
控制系统：自动化控制
最高使用温度：1500摄氏度
功能描述：热处理和化学气象沉积

<p><span style="color:#666666;background-color:#FFFFFF;"><img src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14762549213070.jpg" data-ke-src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14762549213070.jpg" alt=""><br><br><img src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14762549265382.jpg" data-ke-src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14762549265382.jpg" alt=""><br><br><img src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14762549309275.jpg" data-ke-src="http://img3.makepolo.cn/img3/790/024/100013179024_14762549309275.jpg" alt=""><br><br></span></p><p><span style="color:#666666;background-color:#FFFFFF;">该系列PECVD系统具有固态等离子源、分开式反应气体进气系统，动态衬底温控，全面控制真空系统，采用集中现场控制总线技术的“值守精灵”控制软件，以及友好用户操作界面来操作。适用于室温至1400℃条件下进行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉积，同时可实现TEOS源沉积，SiC膜层沉积以及液态或气态源沉积其它材料，尤其适合于有机材料上高效保护层膜和特定温度下无损伤钝化膜的沉积。</span></p><span style="color:#666666;background-color:#FFFFFF;">清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；上开启结构，式样观察方便；触屏人机对话整体性操作，安全可靠；;产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示；真空系统、工作压强、电源系统及自动匹配、工艺气体流量、加热系统、运动系统、工艺过程、系统监控及数据采集等。</span>

供应商信息

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<p class="n">于磊</p>

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<li><span>地</span>址: 旧桥路25号院</li>
<li>公司主页：<a href="//WayesVAC.cn.makepolo.com">http://WayesVAC.cn.makepolo.com</a></li>
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<div class="supplier_info_t">北京维意真空技术应用有限责任公司</div>
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      北京维意真空技术应用有限责任公司，原名北京科立方真空技术应用有限公司，创立于2013年，位于中国·首都北京密云经济技术开发区，主体经营分为真空配件销售、真空设备定制、浅蓝纳米科技三个部分，是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的专业性的公司，公司拥有一支专业、优秀的产品技术工程师和维修技术工程师，具有丰富的行业经验，同时还与北京工业大学联合研发等离子体增强化学气相沉积系统，与北京交通大学联合研发原子层沉积系统，满足高校、研究所的教学、科研使用，同时减少相关进口设备的市场占有率，并力争创造外汇，打出中国创造的！  
    我们的客户遍布北京各高校和研究院所、部分军工单位和电力试验所、各级的材料、物理、化学、纳米等研究领域的实验室，期待您就是我们的下一位客户、朋友！

您的满意微笑是我们一直努力追求的经营目标！
技术创新、业务专业、服务诚信是我们一直遵循的经营理念！

我们热诚欢迎国内外先进的仪器制造商及科学工作者与我们联系开展各层面的合作,打造成一流的真空系统产品、等离子体增强化学气相沉积系统和原子层沉积系统供应商。
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公司地址	北京市密云区西田各庄镇雁密路99号601室-819	统一社会信用代码	91110228069571936J
组织机构代码	06957193-6	注册资本	250万人民币
营业期限	45389-07-22至65387-03-25	经营状态	存续
公司类型	有限责任公司(自然人投资或控股)	成立日期	2013-06-03
法人代表	杨利佳	注册机构	北京市工商行政管理局密云分局
经营范围	技术推广；组织文化艺术交流活动（不含演出及棋牌娱乐）；销售电气机械、通用设备、专用设备、电子产品；委托加工；维修家用电器、仪器仪表。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）